La classificazione principale dei sensori:
Intenzionalmente
Sensori sensibili alla pressione e alla forza, sensori di posizione, sensori di livello, sensori di energia, sensori di velocità, accelerometri, sensori di radiazione, sensori termici.
Per principio
Sensore di vibrazione, sensore di umidità, sensore magnetico, sensore di gas, sensore di vuoto, biosensore, ecc.
Premere il segnale di uscita
Sensore analogico: converte la grandezza non elettrica misurata in un segnale elettrico analogico.
Sensore digitale: converte le grandezze non elettriche misurate in segnali di uscita digitali (sia diretti che indiretti).
Sensore digitale: converte il semaforo misurato nell'uscita di un segnale di frequenza o di un segnale a ciclo breve (compresa la conversione diretta o indiretta).
Interruttore sensore: quando un segnale misurato raggiunge una determinata soglia, il sensore emette un segnale impostato basso o alto di conseguenza.
Per processo di fabbricazione
I sensori integrati sono fabbricati utilizzando la tecnologia di processo standard per la produzione di circuiti integrati semiconduttori a base di silicio.
Anche parte del circuito utilizzato per elaborare inizialmente il segnale in prova è tipicamente integrato sullo stesso chip.
Il sensore a film sottile è formato da un film di un corrispondente materiale sensibile depositato su un substrato dielettrico (substrato). Quando si utilizza un processo di miscelazione, parte del circuito può anche essere fabbricato su questo substrato.
Il sensore a film spesso viene realizzato rivestendo un impasto liquido di un materiale corrispondente su un substrato ceramico, solitamente costituito da Al2O3, e quindi trattato termicamente per formare un film spesso.
I sensori ceramici sono prodotti utilizzando processi ceramici standard o alcune loro varianti (sol, gel, ecc.).
Dopo che l'operazione preparatoria appropriata è stata completata, il componente formato viene sinterizzato ad alta temperatura. Ci sono molte caratteristiche comuni tra i due processi di sensori a film spesso e ceramici. Per certi aspetti, il processo a film spesso può essere considerato una variante del processo ceramico.
Ogni tecnologia di processo ha i suoi vantaggi e svantaggi. I sensori in ceramica e film spesso sono più ragionevoli a causa di
